具有可实现更高效检查和质量控制的通用照明和各种对比方法的数字显微镜

数字显微镜无目镜，但使用数码相机作为检测器。其越来越多地用于各种技术应用，例如在制造、装配、检查、质量控制（QC）和故障分析（FA）期间快速简单地记录部件。

为了更好地显现产品或产品组件缺陷，光学显微镜通常利用不同类型的照明对比度[1–4]。这些照明对比度方法通常用于各种行业，例如汽车、航空航天、铁路、微电子和电子、半导体、精密工程、冶金和金相、玻璃和陶瓷、化学品、制药和医疗器械。

对于工业制造，加快检查和质量控制过程至关重要。如果通过使用不同类型的照明和对比度增强其外观，更容易检测到或看到感兴趣的特征，则检查和测试所需的时间就更少。数字显微镜的最新发展为利用照明对比度方法进行检查和质量控制带来了更实用和有效的方法。

_导线架

_{导线架是微电子芯片封装中使用的金属结构，用于将半导体表面上的小电气端子的布线连接到电子设备和电路板上的大尺寸电路。其几乎用于所有微电子半导体封装。对于这里（图1）所示镀锡铜导线架的情况，发现修剪过的导线架横断面上的锡涂抹量是指示修剪工具磨损的良好指标。当锡的涂抹量达到临界水平时，通常会更换工具。显微镜照明对比度方法使用户能够更容易看到锡的痕迹。}

_{硅晶片用作微电子设备生产中的集成电路基板。在生产过程中检测缺陷对于避免对最终产品或组件的性能造成不利影响至关重要。显微镜照明对比度方法可以更容易、更快速地检测出硅晶片表面的缺陷（图2）。}

_{压花是在各种材料中产生凸起浮雕图案、图像和设计的过程。这里显示了一个食品包装用压花金属涂布纸的示例。显微镜照明对比度方法有助于更好地显现压花金属涂布纸中的缺陷或其表面上存在的污染物（图3）。}

_{使用配备了基于LED（发光二极管）技术的集成环形光和同轴照明系统的Leica DVM6获得上述图像（图4）}

_{使用相机而非目镜作为图像检测器的数字显微镜对于制造和部件装配、质量控制（QC）和故障分析（FA）期间的检查非常实用。现代数字显微镜利用可使用多种对比度方法的灵活集成式LED照明系统，其在检测瑕疵和缺陷方面更具优势。Leica DVM6就是这样一款现代多功能数字显微镜。本文讨论了Leica DVM6如何提高检查、质量控制和故障分析工作流程效率的示例。}