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非聚焦离子束研磨的实践应用

机械抛光不仅费时费力,而且还会产生伪影,干扰扫描电子显微镜(SEM)的电子背散射衍射(EBSD)结果或光学显微镜研究。相比之下,离子束研磨可以消除干扰数据分析和图像解读的伪影。
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