通过离子束打磨提高分辨率
离子束研磨技术也称为离子束刻蚀,用于提高所制备样本的表面质量,以便用于高分辨率成像和分析。这种方法可以消除机械切割和抛光后留下的伪影。采用离子束刻蚀方法制备的离子抛光横截面和平面样本可用于电子显微镜成像以及微结构分析应用,如EDS、WDS、Auger和EBSD。
EM TIC 3X离子研磨提供三条离子束,可显著加快制备过程,展现样本表面上微小的细节和结构。观看视频,了解如何使用 EM TXP机械精研一体机和EM TIC 3X离子束研磨系统为IC金线键合样品制备节省制备时间。